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不銹鋼超潔凈閥

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產品 新聞

兩段式切換氣動閥

此閥門是為了防止流體急劇流入先進半導體制程機臺的腔體等內部，導致微粒四處飛揚污染腔體而被研發(fā)出來的。采用直接式隔膜結構，經由操作壓導入切換，可達到正確切換流量的效果。

高溫閥系列

Mega系列高溫閥是可以對應最高達350 ℃的全金屬閥門。與專業(yè)的加熱器搭配使用，能夠有效防止高溫制成或排氣處理時產生的生成物附著。 口徑： 1/4”～1/2”最高使用壓力1Mpa EP級處理

大流量閥系列

直接式隔膜閥，可對應高壓氣體官署認證品。 口徑：1/4“/1/2” Cv值范圍：0.25 ～1.5 最高使用壓力范圍：1Mpa ～20.5Mpa 使用流體溫度范圍：-10 ～40℃ EP級處理

高耐用型閥系列

Mega系列高耐用型膜片閥：在Mega系列膜片閥性能基礎上，具備著卓越的耐用性，使用次數可達到3000萬次以上，并且Cv值更高。 電子式小型直接隔膜閥（ECV）：特殊材料以及高純度氣體用直接式隔膜閥，采用超強力螺線管，使其制動器實現(xiàn)小型化的同時，高速關閉也成為可能。