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T1000系列

T1000（電磁閥） T1000（M）Z：多氣體多量程MFC T1000（M）F：高性能數(shù)字式MFC T1000（M）L：常用模擬性MFC T1200F、T1500F：數(shù)字控制大流量MFC T1000MF-HT：高溫對(duì)應(yīng)MFC UPC：自動(dòng)壓力控制器
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T2000系列

T2000(壓感閥Piezo Valve） 無(wú)需氣體選擇的低溫感應(yīng)器 對(duì)應(yīng)Devicenet 金屬密封
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FCS-P（壓力式流量計(jì)）

可將FCS安裝與IGS內(nèi)，即可組成一個(gè)更小型、更具絕佳性能的氣體供應(yīng)系統(tǒng)。
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