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IGS（模組化氣體供應(yīng)系統(tǒng)）

IGS主要零部件規(guī)格說明及選型，包含IGS用氣動(dòng)閥、阻絕閥、逆止閥、流量調(diào)節(jié)閥。并介紹IGS用基礎(chǔ)組件，包含墊片、鍍銀螺帽/螺絲及特殊工具。
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