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兩段式切換氣動閥

此閥門是為了防止流體急劇流入先進(jìn)半導(dǎo)體制程機(jī)臺的腔體等內(nèi)部，導(dǎo)致微粒四處飛揚污染腔體而被研發(fā)出來的。采用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由操作壓導(dǎo)入切換，可達(dá)到正確切換流量的效果。
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高溫閥系列

Mega系列高溫閥是可以對應(yīng)最高達(dá)350 ℃的全金屬閥門。與專業(yè)的加熱器搭配使用，能夠有效防止高溫制成或排氣處理時產(chǎn)生的生成物附著。 口徑： 1/4”～1/2”最高使用壓力1Mpa EP級處理
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大流量閥系列

直接式隔膜閥，可對應(yīng)高壓氣體官署認(rèn)證品。 口徑：1/4“/1/2” Cv值范圍：0.25 ～1.5 最高使用壓力范圍：1Mpa ～20.5Mpa 使用流體溫度范圍：-10 ～40℃ EP級處理
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高耐用型閥系列

Mega系列高耐用型膜片閥：在Mega系列膜片閥性能基礎(chǔ)上，具備著卓越的耐用性，使用次數(shù)可達(dá)到3000萬次以上，并且Cv值更高。 電子式小型直接隔膜閥（ECV）：特殊材料以及高純度氣體用直接式隔膜閥，采用超強力螺線管，使其制動器實現(xiàn)小型化的同時，高速關(guān)閉也成為可能。
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標(biāo)準(zhǔn)系列

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級處理
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軟管·金屬膜片系列

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級處理
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Mega系列膜片閥

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級處理
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New Mega系列膜片閥

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級處理
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