兩段式切換氣動閥
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此閥門是為了防止流體急劇流入先進(jìn)半導(dǎo)體制程機(jī)臺的腔體等內(nèi)部，導(dǎo)致微粒四處飛揚(yáng)污染腔體而被研發(fā)出來的。采用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由操作壓導(dǎo)入切換，可達(dá)到正確切換流量的效果。
重量
數(shù)量
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+
庫存剩余
隱藏域元素占位
- 產(chǎn)品描述
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此閥門是為了防止流體急劇流入先進(jìn)半導(dǎo)體制程機(jī)臺的腔體等內(nèi)部，導(dǎo)致微粒四處飛揚(yáng)污染腔體而被研發(fā)出來的。采用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由操作壓導(dǎo)入切換，可達(dá)到正確切換流量的效果。
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