FCS-P系列（壓力式流量計）

FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專為確立近年來半導(dǎo) 體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品?；静僮髟碛袆e于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計，這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特性

● 結(jié)構(gòu)簡單
FCS內(nèi)部結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡單，且是個完全零死角的結(jié)構(gòu)。
● 卓越的壓力變動特性
上游壓力變動時，質(zhì)量流量控制器輸出值會呈現(xiàn)大幅度變化，但FCS則完全沒有任何變動。
● 采用流量參數(shù)（FLOW FACTOR）
采用流量參數(shù)，即可利用N2校正，是FCS對應(yīng)各種氣體。
● 卓越的精準度
全流量10%以上時，精準度在設(shè)定點的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準度相當(dāng)高。
● 搭載流量異常診斷功能
● 反應(yīng)靈敏
● 設(shè)置位置不受限（MOUNT POSITION FREE）
● 對應(yīng)DEVICE NET
經(jīng)第三機構(gòu)測試單位ODVA的測試，完全通過ODVA測試軟體VerA-14的測試