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水蒸氣發(fā)生器

關(guān)鍵詞：

產(chǎn)品 新聞

WVG（水蒸氣發(fā)生器）

該產(chǎn)品特別針對ULSI期間制造工程中，品質(zhì)要求特別嚴(yán)格的濕（WET）氧化制程，利用H2和O2等觸媒反應(yīng)，而研發(fā)出的水蒸氣發(fā)生器。

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