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適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。
口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級(jí)處理
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適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。
口徑:1/4”~112最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa材質(zhì):SUS316L EP級(jí)處理
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其大流量且超純凈的特性可應(yīng)用于高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)及CDA、UN2、HN2、IA等系統(tǒng)?？蓭Т祾呖诨虼祾唛y。
口徑：1/4"~6" 最高使用壓力達(dá)375PSI 材質(zhì)：SUS316L EP級(jí)處理
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膜片閥SPDS series（Diaphragm Valve）
密封部采用膜片結(jié)構(gòu)，其密封性極佳?？蓭Т祾呖诨虼祾唛y。
口徑：1/2"&3/4" 最高使用壓力可達(dá)375PSI 材質(zhì)：SUS316L EP級(jí)處理
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密封部采用金屬軟管結(jié)構(gòu)，具備了大流量且小巧化等特性?？蓭Т祾呖诨虼祾唛y。
口徑：1/2"~8" 最高使用壓力:375PSI 材質(zhì)：SUS316L EP級(jí)處理
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該產(chǎn)品特別針對(duì)ULSI期間制造工程中，品質(zhì)要求特別嚴(yán)格的濕（WET）氧化制程，利用H2和O2等觸媒反應(yīng)，而研發(fā)出的水蒸氣發(fā)生器。
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